本臭氧制備原理是間隙放電法，供電單元提供高壓電場而使流過發生器的氧氣在此電場中通過。臭氧發生器罐體本身和內部的放電室為接地極，高壓電加到絕緣體的金屬電極上，金屬電極外部涂上了特殊的絕緣材料，這樣在絕緣材料層和臭氧發生器罐體接地極之間形成了高壓電場，氧氣通過時通過高壓電暈放電轉化為臭氧。

氧氣轉化為臭氧的過程中釋放熱量，必須通過接地極的發生器水腔的冷卻水帶走熱量以促進臭氧的轉化效率，因此冷卻水對臭氧制備非常重要。

水冷式臭氧發生器（高配）一般由氣源系統、臭氧發生器、電源系統、冷卻水系統、PLC控制系統、臭氧投加系統及尾氣破壞系統等幾大部分組成。此外，還有大量的輔助設備如測量系統、閥門及管道等。

臭氧發生系統組成圖

發生室系統流程示意圖

下圖為較為完備的發生室系統流程，但不是所有的設備流程都是這樣，部分設備根據實際應用和客戶要求進行了適當的調整和精簡。